在半導體(ti) 行業(ye) 中工業(ye) 靜電有哪些危害?
眾(zhong) 所周知,靜電是無處不在,無時不刻都在發生的,上一秒消除下一秒它又產(chan) 生,從(cong) 生活中的靜電到工業(ye) 靜電,皆是如此。而在眾(zhong) 多工業(ye) 領域中,靜電對半導體(ti) 生產(chan) 製造過程產(chan) 生的影響額外明顯,所以半導體(ti) 行業(ye) 對靜電的防護要求也比其他行業(ye) 要高,那麽(me) 靜電對其的危害具體(ti) 體(ti) 現在哪些方麵呢?
一、
MOS結構元器件,由靜電過高引起的介質擊穿,造成短路
二、
半導體(ti) 結構元器件,由過熱引起的微等離子區二次擊穿
三、
膜電阻器結構元器件,由介質擊穿形成新的電流通路
四、
金屬化條結構(IC),靜電造成與(yu) 焦耳熱有關(guan) 的開路
五、
壓電晶體(ti) 結構元器件,由靜電幹擾引起機械壓力震蕩過大,造成晶體(ti) 斷裂
VESD專(zhuan) 注工業(ye) 靜電控製18年,自主研發ESD
智能實時監控係統,其中的靜電壓傳(chuan) 感器正是發現靜電的利器,多種 sensor可選,如果您的產(chan) 品也受靜電危害的困擾,那麽(me) 不要錯過
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